時(shí)間：2020-10-24來(lái)源：中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)

導(dǎo)語(yǔ)：在國(guó)內(nèi)有自動(dòng)化方面的專家指出，傳感器技術(shù)直接關(guān)系到我國(guó)自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)的發(fā)展形勢(shì)，認(rèn)為“傳感器技術(shù)強(qiáng)，則自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)強(qiáng)”。由此可見(jiàn)傳感器技術(shù)對(duì)自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)國(guó)家工業(yè)建設(shè)的重要性。

傳感器作為現(xiàn)代科技的前沿技術(shù)，被認(rèn)為是現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱之一，也是國(guó)內(nèi)外公認(rèn)的最具有發(fā)展前途的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。在國(guó)內(nèi)有自動(dòng)化方面的專家指出，傳感器技術(shù)直接關(guān)系到我國(guó)自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)的發(fā)展形勢(shì)，認(rèn)為“傳感器技術(shù)強(qiáng)，則自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)強(qiáng)”。由此可見(jiàn)傳感器技術(shù)對(duì)自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)國(guó)家工業(yè)建設(shè)的重要性。

然而，在傳感器迎來(lái)春天的時(shí)候，中國(guó)公眾看到的似乎仍然是國(guó)外半導(dǎo)體巨頭的盛宴。業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，雖然中國(guó)的傳感器市場(chǎng)發(fā)展很快，但本土傳感器技術(shù)與世界水平相比仍存在很大差距。

這種差距，一方面表現(xiàn)為傳感器在感知信息方面的落后，另一方面，則表現(xiàn)為傳感器自身在智能化和網(wǎng)絡(luò)化方面的技術(shù)落后。由于沒(méi)有形成足夠的規(guī)模化應(yīng)用，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)的傳感器不僅技術(shù)低，而且價(jià)格高，在市場(chǎng)上很難有競(jìng)爭(zhēng)力。

1、各國(guó)傳感器發(fā)展情況

目前全球傳感器市場(chǎng)主要由美國(guó)、日本、德國(guó)的幾家龍頭公司主導(dǎo)。美國(guó)、日本、德國(guó)及中國(guó)合計(jì)占據(jù)全球傳感器市場(chǎng)份額的72%，其中中國(guó)占比約11%。與全世界生產(chǎn)的超過(guò)2萬(wàn)種產(chǎn)品品種相比，中國(guó)國(guó)內(nèi)僅能生產(chǎn)其中的約1/3，整體技術(shù)含量也較低，是目前急需改變的一個(gè)狀態(tài)。

美國(guó)

美國(guó)早在80年代就聲稱世界已進(jìn)入傳感器時(shí)代，美國(guó)早在80年代初就成立了國(guó)家技術(shù)小組（BGT），幫助政府組織和領(lǐng)導(dǎo)各大公司與國(guó)家企事業(yè)部門的傳感器技術(shù)開(kāi)發(fā)工作。

美國(guó)國(guó)家長(zhǎng)期安全和經(jīng)濟(jì)繁榮至關(guān)重要的22項(xiàng)技術(shù)中有6項(xiàng)與傳感器信息處理技術(shù)直接相關(guān)。關(guān)于保護(hù)美國(guó)武器系統(tǒng)質(zhì)量?jī)?yōu)勢(shì)至關(guān)重要的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)之中，8項(xiàng)就為無(wú)源傳感器。美國(guó)空軍2000年舉出15項(xiàng)有助于提高21世紀(jì)空軍能力關(guān)鍵技術(shù)，傳感器技術(shù)名列第二。

美國(guó)發(fā)展模式走的先軍工后民用、先提高后普及的路子。有顯著特點(diǎn)：

（一）非常重視傳感器功能材料研究；

（二）對(duì)傳感器技術(shù)開(kāi)發(fā)十分重視： 例如美國(guó)霍尼威爾公司的固態(tài)傳感器發(fā)展中心每年用于設(shè)備投資就有5000萬(wàn)美元,目前擁有包括計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、單晶生長(zhǎng)、加工、圖形發(fā)生器，對(duì)步重復(fù)照像、自動(dòng)涂膠和光刻、等離子刻蝕、濺射、擴(kuò)散、外延、蒸鍍、離子注入化學(xué)氣相沉積、掃描電鏡、封裝和屏蔽動(dòng)態(tài)測(cè)試等最先進(jìn)的成套設(shè)備和生產(chǎn)線,而且是大約每三年左右就要更新其中大部分儀器設(shè)備,聲稱只有這樣,才能保證其技術(shù)領(lǐng)先水平。

（三）重視工藝研究：傳感器原理不難,也不保密,而最保密的是工藝。有不少評(píng)價(jià)“傳感器”不是一般的工業(yè)產(chǎn)品,而是一種完美的工藝品之佳作。研發(fā)方面，美國(guó)約有1,300家生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)傳感器的廠家，100多個(gè)研究院所和院校。

德國(guó)

德國(guó)視軍用傳感器為優(yōu)先發(fā)展技術(shù)，德國(guó)傳感器充分發(fā)揮了老牌工業(yè)強(qiáng)國(guó)的固有優(yōu)勢(shì)，再經(jīng)德國(guó)制造商依托自有品牌聲譽(yù)和技術(shù)研發(fā)、質(zhì)量管理方面的優(yōu)勢(shì)進(jìn)行整合，其產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力必然獲得顯著提升。

一方面更加注意原材料成本的節(jié)約；重人力資本的投入，以便使產(chǎn)品保持技術(shù)上的領(lǐng)先，進(jìn)而保持較高的市場(chǎng)占有率！

日本

日本則把傳感器技術(shù)列為十大技術(shù)之首。日本工商界人士聲稱“支配了傳感器技術(shù)就能夠支配新時(shí)代”。日本對(duì)開(kāi)發(fā)和利用傳感器技術(shù)相當(dāng)重視并列為國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展6大核心技術(shù)之一。

日本科學(xué)技術(shù)廳制定的90年代重點(diǎn)科研項(xiàng)目中有70個(gè)重點(diǎn)課題，其中有18項(xiàng)是與傳感器技術(shù)密切相關(guān)。

日本側(cè)重實(shí)用化和商品化,先普及后提高,由引進(jìn)、消化、仿制到自行改進(jìn)設(shè)計(jì)創(chuàng)新的路子。前者花錢多,后者花錢少,更快些。研發(fā)方面，日本約有800家生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)傳感器的廠家。

中國(guó)

我國(guó)早在20世紀(jì)60年代就開(kāi)始涉足傳感器制造業(yè)。我國(guó)在1972年組建成立中國(guó)第一批壓阻傳感器研制生產(chǎn)單位;1974年，研制成功中國(guó)第一個(gè)實(shí)用壓阻式壓力傳感器;1978年，誕生中國(guó)第一個(gè)固態(tài)壓阻加速度傳感器;1982年，國(guó)內(nèi)最早開(kāi)始硅微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)和SOI(絕緣體上硅)技術(shù)的研究。

進(jìn)入20世紀(jì)90年代后，硅微機(jī)械加工技術(shù)的絕對(duì)壓力傳感器、微壓傳感器、呼吸機(jī)壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本TO-8封裝壓力傳感器等相繼問(wèn)世并實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)。

改革開(kāi)放30年來(lái)，我國(guó)傳感器技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)取得了長(zhǎng)足進(jìn)步，主要表現(xiàn)在：建立了傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、微米/納米國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家傳感技術(shù)工程中心等研究開(kāi)發(fā)基地;MEMS、MOEMS(微光機(jī)電系統(tǒng))等研究項(xiàng)目列入了國(guó)家高新技術(shù)發(fā)展重點(diǎn);在“九五”國(guó)家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目中，傳感器技術(shù)研究取得了51個(gè)品種86個(gè)規(guī)格新產(chǎn)品的成績(jī)，初步建立了敏感元件與傳感器產(chǎn)業(yè)。

目前，中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)正處于由傳統(tǒng)型向新型傳感器發(fā)展的關(guān)鍵階段，它體現(xiàn)了新型傳感器向微型化、多功能化、數(shù)字化、智能化、系統(tǒng)化和網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展的總趨勢(shì)。

傳感器技術(shù)歷經(jīng)了多年的發(fā)展，其技術(shù)的發(fā)展大體可分三代：

第一代是結(jié)構(gòu)型傳感器，它利用結(jié)構(gòu)參量變化來(lái)感受和轉(zhuǎn)化信號(hào)。

第二代是上70年代發(fā)展起來(lái)的固體型傳感器，這種傳感器由半導(dǎo)體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成，是利用材料某些特性制成。如：利用熱電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)、光敏效應(yīng)，分別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器、光敏傳感器。

第三代傳感器是以后剛剛發(fā)展起來(lái)的智能型傳感器，是微型計(jì)算機(jī)技術(shù)與檢測(cè)技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，使傳感器具有一定的人工智能。

2、國(guó)內(nèi)傳感器行業(yè)現(xiàn)狀

中國(guó)大致從1980年以后開(kāi)始重視傳感器技術(shù)的研究。經(jīng)過(guò)多年的努力，在傳感器研究方面的發(fā)展水平還算是比較好的。但是，在產(chǎn)品化方面的技術(shù)進(jìn)步還不是很理想，很多傳感器技術(shù)，其實(shí)國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室研究水平并不是很差，可惜未能充分利用，沒(méi)有轉(zhuǎn)化為進(jìn)入市場(chǎng)的成熟產(chǎn)品。

傳感器技術(shù)的研究需要比較長(zhǎng)時(shí)間的投入，一款傳感器的研發(fā)，要6年-8年才能成熟，一般中國(guó)企業(yè)都承受不了這么長(zhǎng)的周期。中國(guó)企業(yè)更難以承受失敗，而傳感器的研究失敗的風(fēng)險(xiǎn)很高。

日本企業(yè)支持的研發(fā)中，很多形不成產(chǎn)品，但是企業(yè)能夠承受，10項(xiàng)中只要2項(xiàng)-3項(xiàng)能夠變成產(chǎn)品就行。相比之下，我們很多企業(yè)都是準(zhǔn)備去拿別人現(xiàn)有的東西。這種思路是有問(wèn)題的，包括我們總是希望引進(jìn)國(guó)外現(xiàn)成的、有自己項(xiàng)目的人才。都不準(zhǔn)備養(yǎng)魚(yú)，而是撈一條魚(yú)來(lái)。

相比于比較大型的儀器設(shè)備，傳感器在產(chǎn)品化過(guò)程中需要的投資一般不是很大，所以比較適合小型企業(yè)投資。在這方面，中國(guó)應(yīng)該是有優(yōu)勢(shì)的。然而，如果從另外一個(gè)方面考慮，這也是一個(gè)短處。

傳感器行業(yè)的一個(gè)特點(diǎn)是，傳感器本身技術(shù)含量高，但單只傳感器的價(jià)格一般不高。此特點(diǎn)導(dǎo)致的一個(gè)結(jié)果是，盡管傳感器的技術(shù)附加值高，但單純依賴傳感器很難形成可觀的產(chǎn)值。

一般來(lái)說(shuō)，傳感器有點(diǎn)像中藥里的“藥引”，本身功能很重要，但真正形成規(guī)模還需要依賴整服藥劑才行。國(guó)外很多傳感器公司一旦在某種傳感器上有突破，很快會(huì)有相關(guān)的測(cè)量?jī)x器開(kāi)發(fā)出來(lái)。

另外，在中國(guó)的專利保護(hù)機(jī)制下，傳感器中辛辛苦苦研發(fā)出來(lái)的關(guān)鍵技術(shù)，往往呈現(xiàn)一種“訣竅”性質(zhì)，被抄襲后，很難說(shuō)清楚，企業(yè)也打不起官司。國(guó)內(nèi)雖然也有MEMS傳感器企業(yè)，但都是委托加工，搞不好就被加工企業(yè)自己拿去做了，目前的企業(yè)創(chuàng)新體系有很大的問(wèn)題。

3、中國(guó)傳感器發(fā)展與國(guó)外差距

國(guó)內(nèi)傳感器廠商占據(jù)中低端市場(chǎng)從發(fā)展態(tài)勢(shì)看，國(guó)內(nèi)傳感器廠商有三種情況：

一、民營(yíng)或合資企業(yè)的產(chǎn)品占據(jù)了中低端市場(chǎng)，傳統(tǒng)技術(shù)和裝備手段可以滿足絕大多數(shù)產(chǎn)品的制造要求，市場(chǎng)發(fā)展?fàn)顟B(tài)良好。除個(gè)別廠家在個(gè)別品種方面將國(guó)外生產(chǎn)的芯片拿到國(guó)內(nèi)封裝出相關(guān)產(chǎn)品、占據(jù)市場(chǎng)較大份額外，其他高端產(chǎn)品均是國(guó)外廠商在壟斷。

二、隨著物聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的興起，傳感器產(chǎn)業(yè)成為世界各國(guó)在高新技術(shù)發(fā)展中爭(zhēng)奪的一個(gè)重要領(lǐng)域。近年來(lái)我國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)快速增長(zhǎng)，應(yīng)用模式也日漸成熟。但由于產(chǎn)業(yè)檔次偏低、技術(shù)創(chuàng)新能力較差，國(guó)內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)低端過(guò)剩、中高端被國(guó)外壟斷的市場(chǎng)格局。傳感器技術(shù)發(fā)展滯后已掣肘國(guó)內(nèi)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的順利推進(jìn)。

目前從材料、器件、系統(tǒng)到網(wǎng)絡(luò)我國(guó)已形成較為完整的傳感器產(chǎn)業(yè)鏈。在網(wǎng)絡(luò)接口、傳感器與網(wǎng)絡(luò)通信融合、物聯(lián)網(wǎng)體系架構(gòu)等方面取得較大進(jìn)展。但產(chǎn)業(yè)檔次偏低、企業(yè)規(guī)模小、技術(shù)創(chuàng)新能力差，很多企業(yè)只是引進(jìn)國(guó)外元件進(jìn)行加工，同質(zhì)化嚴(yán)重。而生產(chǎn)裝備落后、工藝不穩(wěn)定等造成產(chǎn)品指標(biāo)分散、穩(wěn)定性差。模仿產(chǎn)品在敏捷度方面也不盡如人意。在相對(duì)研發(fā)突出的領(lǐng)域，卻忽略了工業(yè)化基礎(chǔ)性開(kāi)發(fā)，商品化開(kāi)發(fā)嚴(yán)重滯后。

目前我國(guó)傳感器產(chǎn)品約6000種左右，而國(guó)外已達(dá)20000多個(gè)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。

中高端傳感器進(jìn)口占比達(dá)80%，傳感器芯片進(jìn)口更是達(dá)90%，國(guó)產(chǎn)化缺口巨大。其中數(shù)字化、智能化、微型化等高新技術(shù)產(chǎn)品嚴(yán)重短缺。國(guó)家重大裝備所需高端產(chǎn)品主要依賴進(jìn)口。

而涉及國(guó)家安全和重大工程所需的傳感器及智能化儀器儀表，國(guó)外對(duì)我國(guó)往往采取限制。外資企業(yè)產(chǎn)品占據(jù)國(guó)內(nèi)高端市場(chǎng)絕大多數(shù)的市場(chǎng)份額，并將會(huì)在今后很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)持續(xù)把持高端市場(chǎng)，這種勢(shì)頭在短期內(nèi)不會(huì)得到根本轉(zhuǎn)變。

三、國(guó)有企業(yè)發(fā)展處于平穩(wěn)增長(zhǎng)狀態(tài)，總體上跟不上國(guó)外最新技術(shù)發(fā)展的步伐，除少數(shù)廠家外，總體差距有擴(kuò)大的趨勢(shì)。

這是因?yàn)閭鞲衅骷夹g(shù)發(fā)展快，工藝和制造設(shè)備更新快，許多新設(shè)備國(guó)內(nèi)廠商無(wú)法制造等原因造成的。并且設(shè)備的單臺(tái)價(jià)格少則幾十萬(wàn)美元，多則數(shù)百萬(wàn)美元，絕大多數(shù)廠家靠自身積累很難購(gòu)買新型設(shè)備，致使在許多新技術(shù)、新工藝方面無(wú)法跟上國(guó)外企業(yè)飛速發(fā)展的步伐。

4、我國(guó)傳感器發(fā)展差距的主要原因

一、核心制造技術(shù)嚴(yán)重滯后于國(guó)外，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品差強(qiáng)人意。

國(guó)外傳感器的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新工藝、新材料不斷涌現(xiàn)，傳感器數(shù)字化、智能化、微型化已成趨勢(shì)，大多數(shù)產(chǎn)品已變成現(xiàn)實(shí)，且在不斷完善、不斷升級(jí)，而我國(guó)的傳感器雖然所涉足的研究開(kāi)發(fā)領(lǐng)域基本與國(guó)外相差無(wú)幾，但由于在某些核心制造工藝技術(shù)上還嚴(yán)重滯后于國(guó)外，所以在深度和廣度上差異較大，主要表現(xiàn)為：

1、產(chǎn)品品種不全、規(guī)格少，新品欠缺。

我國(guó)目前傳感器產(chǎn)品品種數(shù)為3000個(gè)左右，而國(guó)外已達(dá)20000多個(gè)，產(chǎn)品品種滿足率僅在60%-70%左右，遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了國(guó)內(nèi)傳感器市場(chǎng)需求。從行業(yè)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)看，老產(chǎn)品比例占60%以上，新產(chǎn)品不足，高新技術(shù)類產(chǎn)品更少，數(shù)字化、智能化、微型化產(chǎn)品嚴(yán)重欠缺從總體看，品種不配套、系列不全、低檔產(chǎn)品多、高檔產(chǎn)品少、缺乏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

2、科技創(chuàng)新差，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品少。

企業(yè)自主開(kāi)發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力差。由于多種因素影響，國(guó)內(nèi)企業(yè)仍以手工方式生產(chǎn)技術(shù)含量低或國(guó)外已停產(chǎn)的產(chǎn)品。很多新公司就是國(guó)外產(chǎn)品的推銷商和代理商，在多數(shù)院校和研究院所中，對(duì)高技術(shù)的跟蹤和對(duì)高技術(shù)附加值產(chǎn)品的研發(fā)能力還是可以的，但其成果以樣品居多，距產(chǎn)業(yè)化較遠(yuǎn)，自主開(kāi)發(fā)和擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的科研成果不多。

二、工藝裝備落后，產(chǎn)品質(zhì)量差。

經(jīng)過(guò)多年開(kāi)發(fā)，雖然研制出一批工藝和產(chǎn)品，但由于批產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性、可靠性問(wèn)題沒(méi)有得到根本解決，限制了其應(yīng)用領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有些高性能產(chǎn)品，不是靠工藝保證，而是靠篩選分檔。從技術(shù)角度看，由于國(guó)內(nèi)傳感器生產(chǎn)工藝與工藝設(shè)備相對(duì)落后，微機(jī)械加工技術(shù)和封裝技術(shù)不夠先進(jìn)，手工操作比較多，檢測(cè)手段不規(guī)范等等，造成主要性能指標(biāo)和國(guó)外差1-2個(gè)數(shù)量級(jí)，使用壽命差2-3級(jí)。因此，在化工、電站、冶金、石油、環(huán)保、機(jī)械等領(lǐng)域重大工程中，許多高性能傳感器仍依賴于進(jìn)口。

三、人才資源匱乏，產(chǎn)業(yè)發(fā)展不足。

傳感器及其產(chǎn)業(yè)的特點(diǎn)之一是技術(shù)密集，由于技術(shù)密集，也自然要求人才密集。從目前國(guó)內(nèi)的情況看，能夠適應(yīng)當(dāng)今傳感器技術(shù)發(fā)展需求的具有高水平的科研隊(duì)伍及中青年科技專家、技術(shù)骨干、學(xué)術(shù)帶頭人相對(duì)缺乏，使行業(yè)技術(shù)更新?lián)Q代步伐慢，產(chǎn)業(yè)發(fā)展后勁不足。

四、統(tǒng)籌規(guī)劃不足，投資力度不夠。

目前存在的問(wèn)題是重復(fù)分散、統(tǒng)籌規(guī)劃不足，科研投資強(qiáng)度偏低，科研設(shè)備落后，科研和生產(chǎn)脫節(jié)，影響了科研成果的轉(zhuǎn)化，使我國(guó)傳感器產(chǎn)品綜合實(shí)力較低。其次是由于政府重視不夠,在信息技術(shù)發(fā)展的過(guò)程中,對(duì)傳感器技術(shù)重要性的認(rèn)識(shí)滯后于計(jì)算機(jī)技術(shù)和通訊技術(shù),發(fā)展需求的資源投入規(guī)模和強(qiáng)度太小,使傳感器技術(shù)的發(fā)展速度緩慢,牽制了信息技術(shù)的飛速發(fā)展。

5、未來(lái)傳感器的重要應(yīng)用方向

從應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)看，工業(yè)、汽車電子、通信電子、消費(fèi)電子四部分是傳感器最大的市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)工業(yè)和汽車電子產(chǎn)品領(lǐng)域的傳感器占比約42%左右，而發(fā)展最快的是汽車電子和通信電子應(yīng)用市場(chǎng)。

智能汽車和無(wú)人駕駛是驅(qū)動(dòng)MEMS傳感器發(fā)展的重要?jiǎng)恿?。在智能汽車時(shí)代，將會(huì)使用大量的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)主動(dòng)安全技術(shù)：語(yǔ)音將成為人與智能汽車的重要交互方式，MEMS麥克風(fēng)將迎來(lái)發(fā)展新機(jī)遇。

自動(dòng)駕駛技術(shù)的興起，進(jìn)一步推動(dòng)了MEMS傳感器進(jìn)入汽車。汽車行業(yè)占據(jù)整個(gè)MEMS市場(chǎng)份額超過(guò)30%，2015年全球汽車MEMS行業(yè)營(yíng)收為37.3億美元。根據(jù)預(yù)測(cè)，未來(lái)六年，全球汽車MEMS市場(chǎng)預(yù)計(jì)將以4.2%的復(fù)合年增長(zhǎng)率穩(wěn)步增長(zhǎng)。

此外，MEMS傳感器也是智能工廠的“心臟”，從這個(gè)層面上講，它是工業(yè)機(jī)器人變得“神通廣大”的利器。它讓產(chǎn)品生產(chǎn)流程持續(xù)運(yùn)行，并讓工作人員遠(yuǎn)離生產(chǎn)線和設(shè)備，保證人身安全和健康。據(jù)預(yù)測(cè)，未來(lái)六年，MEMS在工業(yè)市場(chǎng)預(yù)計(jì)將以7.3%的復(fù)合年增長(zhǎng)率快速增長(zhǎng)。